Le capteur de débit massique à micro-pont de la série AWM1000 est un dispositif passif composé de deux ponts de Wheatstone.
• unamplified, compensated
• silicon die
• ±200 SCCM, 1000 SCCM to -600 SCCM, ±5,0 mbar [2.0 inH2 0]
• Analog
• 30 mW typ
• Straight port
• dry gas only
• -25°C to 85°C [-13°F to 185°F]
• 12,7 mm x 54,4 mm x 31,5 mm [0.5 in x 2.14 in x 1.24 in]
Les caractéristique techniques
Accélération maximum gmax
Mode de fonctionnement
Bidirectionnel
Amplified / Unamplified
Unamplified
Accélération maximum gmax
Intensité du champ magnétique