Réf. :

AWM3000 Series

Marque :

Capteurs de debit d'air de masse microbridge

• Amplified • silicon die • 30 SCCM, 200 SCCM, 1000 SCCM, ±1000 SCCM, 0 mbar to 1,25 mbar [0 inH2 0 to 0.5 inH2 0], 0 mbar to 5,0 mbar [0 inH2 0 to 2 inH2 0], 5,0 mbar [2.0 inH2 0] • Analog • Power consumption 50 mW max. • Straight port • dry gas only • 12,7 mm x 54,4 mm x 31,5 mm • -25°C to 85°C

Les caractéristique techniques

Nombre d'axes

Technologie

Accélération maximum gmax

Sortie

Sensibilité

Total Error Band

Pression

Output

Mode de fonctionnement

Bidirectionnel

Amplified / Unamplified

Amplified

Max flow

1000 SCCM

Output

Analogique

Size

Inlet outlet position

Megapixel

Résolution

CFA

Pixel size

Nombre d'axes

Technologie

Accélération maximum gmax

Sortie

Sensibilité

Pole detection

Intensité du champ magnétique

Output form

Précision Température

Précision RH%

Boitier

Précision

Output form

Boitier

Mesure

Dégré de libérté

1fréquence

Taille (mm)

Macro motion detection

Output

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AWM3000 Series

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